ผลกระทบของแรงกดดันในห้องต่อการแกะสลักคืออะไร?

อะไรคือEผลกระทบของCแฮมเบอร์Pมั่นใจในEรู้สึกอยากเหรอ?

ความดันในห้องเพาะเลี้ยงมีการควบคุมอย่างไร? ผลการแกะสลักมีผลอย่างไร?

ความดันห้องคืออะไร? ความดันห้องหมายถึงความดันของก๊าซในห้องกระบวนการของอุปกรณ์แกะสลัก ซึ่งโดยปกติจะวัดเป็น Torr หรือ Pascal

o อะไรเป็นตัวกำหนดความดันในห้องเพาะเลี้ยง?
1.ยิ่งการไหลของแก๊สสูง ความดันก็จะยิ่งมากขึ้น
2. ปั๊มสุญญากาศถูกระบาย และยิ่งความเร็วของปั๊มสูงขึ้น ความดันในห้องก็จะยิ่งต่ำลง

o ผลกระทบของแรงกดดันในห้องต่อการแกะสลัก
1.พลังงานการทิ้งระเบิดด้วยไอออน ความดันต่ำ, เส้นทางโมเลกุลอิสระขนาดใหญ่, ความน่าจะเป็นของการชนกันของไอออนเล็กน้อย, การกระจายพลังงานน้อยลง, พลังงานสูง
2.อัตราส่วนของไอออนต่ออนุมูลอิสระ ที่ความดันต่ำ สัดส่วนของไอออนจะสูง ซึ่งเอื้อต่อการกัดเซาะทางกายภาพ ที่ความดันสูง สัดส่วนของอนุมูลอิสระที่สูงจะเอื้อให้เกิดการกัดกร่อนทางเคมี

การแกะสลักสม่ำเสมอ ที่ความดันสูง การชนด้วยความถี่สูงจะลดอัตราการไหลของก๊าซ และอนุมูลอิสระจะแพร่กระจายไปยังทุกส่วนของพื้นผิวเวเฟอร์ได้ง่ายขึ้น รวมถึงบริเวณขอบ และความเข้มข้นของสารตั้งต้นที่สัมผัสกับพื้นผิวเวเฟอร์ทั้งหมดจะสม่ำเสมอ และอัตราการกัดจะมีแนวโน้มเท่าเดิม

สรุป
0020-24896 ฝาครอบ วงแหวน 6" SST 101 AL

0020-28205 6" วงแหวนครอบ TI
เมื่อความดันในห้องเพิ่มขึ้น ปฏิกิริยาการกัดจะค่อยๆ เปลี่ยนจากการกัดทางกายภาพ ไปเป็นการกัดทางกายภาพ + ทางเคมี เป็นการกัดด้วยสารเคมี