หัวฝักบัวของ PECVD ทำหน้าที่อะไร?

0020-30797 หัวฝักบัวแบบจานเจาะรู

0021-35869 ฝักบัว

 

หัวฝักบัวทำหน้าที่อะไรในกระบวนการ PECVD?

ดังที่แสดงในภาพด้านบน ฝักบัวหรือแปลว่าหัวสปริงเกอร์ ฝักบัว ฯลฯ มักจะสวมพอดีกับส่วนบนของโซนปฏิกิริยาและทำหน้าที่เป็นทางเข้าของก๊าซ โดยฉีดก๊าซปฏิกิริยาเข้าไปในห้องอย่างสม่ำเสมอผ่านรูเล็กๆ บนพื้นผิวของมัน แน่นอนว่าไม่ใช่เพียงหน้าที่ในการกระจายก๊าซเท่านั้น แต่บางชนิดยังได้รับการออกแบบเพื่อใช้เป็นส่วนหนึ่งของอิเล็กโทรดอีกด้วย
ฟังก์ชั่นของ หัวฝักบัว?

พื้นผิวของหัวฝักบัวถูกปกคลุมไปด้วยรูพรุนหนาแน่น และหลังจากที่ก๊าซปฏิกิริยาไหลเข้าไป ก็จะถูกแบ่งออกเป็นหลายส่วนเท่าๆ กัน และถ่ายโอนไปยังด้านบนของแผ่นเวเฟอร์ด้วยอัตราการไหลที่สม่ำเสมอ เพื่อให้ก๊าซปฏิกิริยาครอบคลุมทั่วทั้งหัวอย่างเท่าๆ กัน พื้นผิวเวเฟอร์เพื่อสร้างการเคลือบที่สม่ำเสมอยิ่งขึ้น เมื่อหัวฝักบัวเป็นส่วนหนึ่งของอิเล็กโทรด แหล่งพลังงาน RF จะสร้างสนามไฟฟ้าที่สม่ำเสมอบนพื้นผิว ซึ่งสามารถสร้างพลาสมาที่เป็นเนื้อเดียวกันได้

โดยทั่วไปแล้วโลหะชนิดใดที่ใช้ทำหัวฝักบัว?

ที่พบมากที่สุดคืออลูมิเนียมซึ่งมีการนำความร้อนสูงและทนต่อการกัดกร่อน ควอตซ์หรือเซรามิกก็ใช้ทำหัวฝักบัวได้เช่นกัน