สายพานลำเลียงสูญญากาศล่วงหน้า (โหลดล็อค) และส่วนหลักของแพลตฟอร์มการถ่ายโอน

สายพานลำเลียงสูญญากาศล่วงหน้าเป็นห้องถ่ายโอนสำหรับบรรยากาศและสูญญากาศ ซึ่งใช้เพื่อแยกห้องปฏิกิริยาจากการสัมผัสโดยตรงกับบรรยากาศภายนอก เพื่อให้แน่ใจว่าห้องปฏิกิริยามีความสะอาดและลดโอกาสที่ห้องปฏิกิริยาจะปนเปื้อน เมื่อโมดูลด้านหน้าจำเป็นต้องหยิบและวางเวเฟอร์ไปยังสายพานลำเลียงสูญญากาศล่วงหน้า จะต้องเติมไนโตรเจน ปรับความดันอากาศในโพรงให้เข้ากับสถานะบรรยากาศ จากนั้นวาล์วส่งผ่านของสายพานลำเลียงสูญญากาศล่วงหน้าที่ด้านข้างของโมดูลด้านหน้าจะเปิดขึ้นเพื่อหยิบและวางเวเฟอร์ เมื่อหยิบและวางเวเฟอร์จากห้องถ่ายโอน (ส่วนหนึ่งของแพลตฟอร์มถ่ายโอน) ไปยังตัวถ่ายโอนสูญญากาศล่วงหน้า จำเป็นต้องใช้ปั๊มสูญญากาศเพื่อสูบก๊าซออกจากตัวถ่ายโอนสูญญากาศล่วงหน้า ปรับให้เข้ากับสถานะสูญญากาศ จากนั้นเปิดวาล์วถ่ายโอนที่ด้านอื่นของตัวถ่ายโอนสูญญากาศล่วงหน้า จากนั้นจึงหยิบและวางเวเฟอร์

ขั้นตอนเฉพาะสำหรับเวเฟอร์ที่จะถูกขนส่งในระบบถ่ายโอนมีดังนี้: ประตูทั้งหมดปิดอยู่ → พอร์ตโหลดเวเฟอร์ถูกเปิด ประตูของตลับเวเฟอร์ถูกเปิด → แมนิพิวเลเตอร์บรรยากาศคว้าเวเฟอร์จากเรือเวเฟอร์ของตลับ → เวเฟอร์ถูกวางบนเครื่องจัดตำแหน่ง → ตำแหน่งเวเฟอร์ได้รับการปรับเทียบ → ก๊าซไนโตรเจนถูกเติมลงใน LoadLockA → ประตูของ LoadLockA ถูกเปิด → แมนิพิวเลเตอร์บรรยากาศวางเวเฟอร์ลงใน LoadLockA → ปิดประตูของ LoadLockA → LoadLockA ดูดสูญญากาศ → เปิดประตูห้องปฏิกิริยา → แมนิพิวเลเตอร์ที่ว่างเปล่าใส่เวเฟอร์เข้าไปในห้องปฏิกิริยา → ปฏิกิริยาเกิดขึ้น → หลังจากปฏิกิริยาเสร็จสิ้น ห้องปฏิกิริยาจะถูกดูดสูญญากาศ → ประตูของห้องถ่ายโอนถูกเปิด → แมนิพิวเลเตอร์สูญญากาศเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ไปยังห้องถ่ายโอน → ปิดประตูห้องปฏิกิริยา → เปิดประตูของ LoadLockB → แมนิพิวเลเตอร์สูญญากาศเคลื่อนย้าย เวเฟอร์ไปที่ LoadLockB → ปิดประตู LoadLockB → LoadLockB เติมไนโตรเจน → เปิดประตู LoadLockB → ตัวควบคุมบรรยากาศเคลื่อนย้ายเวเฟอร์ออกจาก LoadLockB → ปิด LoadLockB